关于中国传感器发展的四点冷思考

传感器技术的提升取决于MEMS技术和1C技术的融介深度，这一问题的解决，必须由专门的部门来承折和研发，如“智能传感器创新中心”，国家应加强资金投入，让科学家和工程技术人员安心研究，无后顾之忧。企业是不能解决这类问题的，因企业首要考虑的是盈利和生存问题，何况中国企业赋税确实很重、传感器大部分都是小微企业。

国家应该通过科研项目等方式，在温度、压力、流量、液位等主要过程参数测量行业，培育一批国内传感器标志性企业。使其在技术、产业、市场和品牌方面，逐步具备同国外企业竞争的能力。如果没有这个培养的过程，按着近些年的趋势，国产品牌的传感器、仪表与国外的差距，会越来越大。因此通过强化传感器产业链的研究和建设一一培育中国传感器标志性企业也是当前传感器产业发展要务之一。

在传感器产业化方面，国家应该出台政策：推进国产传感器、仪表产品在工程上应用。要求国内主要设计院，在设计阶段，传感器和国产品牌仪表的占比，不低于50%。

　三、用好、用活现有的MEMS传感器芯片工艺线一一培养传感器大国工匠

传感器芯片的研发是推动传感器产业发展的根本。传感器芯片企业的生存是难中之难，在传感器产业发展过程中，出现了大部分企业去搞传感器应用，而不愿搞传感器芯片的研究和开发，因为搞传感器芯片投资大、难度大、见效慢、风险岛，这里有国家政策、体制、机制等问题，但其本质是对传感器技术的特点和规律认识不足，如放弃研发传感器芯片，传感器应用难以为继，而且受制于人，会重蹈集成电路芯片之覆辙。不在传感器芯片上下功夫，不厚积薄发，想走捷径，中国传感器产业要取得突破性发展是很难的，甚至是没有希望的。

这需要国家有关主管部门下决心、下狠心。

但是，国内由4英寸以上MEMS传感器生产线至少有20条(以传感器为主的生产线)，其中研发线5条、压力线4条、压力+惯性线3条、惯性线5条，惯性+磁传感器线1条、磁传感器线2条。

据了解，这些生产线除5条研发线外，存在诸多问题，最主要问题是开工率严重不足。开工率不足的原因是某种传感器产品的产业化问题没有解决：

一是没有解决产业化的市场，没有市场需求，或没有规模化的市场需求，传感器产品达不到量产的指标和目标;二是即使有规模化的市场需求而传感器的产业化技术或工艺技术没有解决,造成废品率高，成本增加，或者某些材料和辅料供应有问题，工艺线难以开工;三是有些生产线并不完整，缺少某些关键设备;四是传感器的工艺线运行成本很髙，没有足够的资金支持难以为继。

有些生产线成为摆设、供参观之用。毎一条生产线的建设均需巨大投资。

希望不要再盲目投资传感器芯片生产工艺线，而是用好、用足现有的芯片工艺线，这需国家、政府牵线，企业协作、共盈，关键是要转变观点和思维方式，要打破行业壁垒、要实施联合技术攻关，实现工艺线在全行业“低价格有偿”共用;其次应将专用的工艺线进行适当组合构成柔性工艺线;规划每条工艺线的专业分工和主业产品。这些需发挥中国特色的优势，发挥政府的作用。

传感器可以说是一种“高技术工艺品”，通过用好、用活现没的MEMS传感器芯片工艺线，培养传感器工艺人才一一进而培养传感器大国工匠。

四、尽快解决流程工业变送器“有器无芯”问题一一培养众多传感器企业家

目前，国内工业用压力传感器或变送器，包括硅基OEM产品，其核心部件芯片(芯体)97%以上均从国外进口，国外占据绝大部分国内市场，技术始终在外方手里，我国变送器的生产只是零部件的装配，无自主知识产权。

这一问题国家曾经下功夫解决，二次攻关和立项,一次是2008年，由科技部立项，“高性能传感器关键技术研宄究”，经费1200万人民币;另一次是2015年，科技部863支持项目，“高精度硅压力传感器技术研宂及产业开发”，经费720万人民币。但最终均未彻底解决，在行业影响不大。究其原因，主要有：

①、攻关目标很高，指标性能要和国外知名大公司的成熟产品对标;②、国内传感器的难础技术、基础材料、工艺水平达不到国外同类产品所规定的技术指

标，与国外同类产品差距较大;③、攻关中，对技术提升和性能改善做了很多工作，但产品的产业化研究基本未涉及，特别是某些关键技术未能突破，加之经费所限，形不成产业化生产线;④、在确定攻关的技术方案上可商榷，技术人员解决实际问题的能力有限;⑤、项目立项或攻关的组织形式可推敲，二次都是以变送器(整机)企业牵头，有一定局限性;⑤、国家下的决心和力度不大，资金投入太少，对产业化规模生产无资金投入。政策支持不够，采用国产自主知识产权的传感器或变送器应有优惠政策等。

“有器无芯”这一问题必须解决，应该解决，而且只要处置得当，也能够解决：

　1.要提升到国家层面来解决，体现国家意志，国家要有大格局，企业要有大意识。不仅要解决“有器无芯”中传感器的技术问题，关键问题，系统性问题，而且要解决传感器产业化生产问题，建立传感器产业生产专用线。

体现国家意志，当然可由国家有关部委牵头，也可由省、市地方政府出面，或两者联合之。

2.解决“有器无芯”问题，对提升传感器的技术水平，缩短国内外差距，特别是对传感器后道工序(硬封、焊接、充硅油、封装等)的工艺研究、工艺装备制造有重要的作用，有明显的技术、经济意义，而且政治意义也不能小觑，如能真正解决该问题，国外产品会立刻降价。

（编辑：衡阳站长网）

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